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《浙江大学学报(A卷英文版)》2017,(1)
目的:在高温等恶劣工作环境下,燃气轮机有着迫切的温度等工况参数的实时监测需求。声表面波(SAW)技术与微机电系统(MEMS)技术的结合可提供一种很有发展前景的解决方案。本文旨在探讨SAW谐振器的设计与仿真方法,研究高质量c轴择优取向的AlN压电薄膜制备工艺及与MEMS工艺兼容的SAW谐振器制作工艺,并测试其电学性能以验证SAW谐振器设计与制作的正确性与可行性。创新点:1.首次在耐高温材料AlN/4H-SiC上设计、仿真及制作SAW谐振器并测试电学性能;2.在4HSiC上得到了高质量c轴择优取向的Al N压电薄膜并开发了一套与MEMS工艺兼容的SAW谐振器制作工艺。方法:1.通过对SAW谐振器所有结构参数的设计与仿真,得到谐振器的谐振频率与反谐振频率等(图2和3);2.利用磁控溅射方法在4H-SiC衬底上溅射高质量c轴择优取向的AlN压电薄膜,再利用光刻、湿法腐蚀等MEMS工艺制作SAW谐振器(图4);3.通过扫描电镜和X射线衍射等手段,检测AlN压电薄膜质量(图5和6)及器件制作结果(图7);4.利用网络分析仪测试SAW谐振器电学性能并与仿真结果相比较,验证SAW谐振器设计仿真方法和MEMS制作工艺的可行性和有效性(图8)。结论:1.基于耐高温材料AlN/4H-SiC,成功设计并制作出SAW谐振器(尺寸:1107μm×721μm);2.在4H-SiC上得到了高质量c轴择优取向的AlN压电薄膜,衍射峰为36.10°,摇摆曲线半高宽仅1.19°;3.SAW谐振器电学性能测试结果与仿真结果一致,证明其设计仿真方法正确有效、MEMS制作工艺可行。 相似文献
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为了有效控制陀螺驱动模态的工作状态,从原理上分析了微机械陀螺的驱动特性,提出了一个新型的微机械陀螺闭环驱动数字控制电路,即采用数字锁相环和自动增益控制方法分别控制驱动频率和振荡幅度.设计了带有现场可编程门阵列的数字处理电路,并进行了实验.结果表明:当温度变化时,驱动频率能够自动跟踪陀螺驱动模态的谐振频率,并且振荡幅值始终保持在设定值.在常温下驱动频率相对偏差为0.624×10-6,振荡幅值相对偏差为8.0×10-6,分别是模拟控制方案的0.094%和18.39%.因此,基于数字锁相环和自动增益控制的频率和幅值闭环驱动控制方案是可行的. 相似文献
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压电喷墨驱动器结构优化与仿真分析 总被引：1，自引：0，他引：1
压电驱动器利用逆压电效应作为压电喷墨打印机的核心驱动装置,其结构设计及参数优化决定喷墨质量的性能优劣。基于ANSYS软件平台对双压电圆膜陶瓷振子驱动器的振动位移、谐振频率、振动模态及其谐响应进行了计算机仿真研究,并对其材料选择、结构设计及其参数等进行了一系列的优化。实践表明,ANSYS仿真实验不仅为压电驱动喷射装置的系统设计、成型制造及实验研究提供理论依据,而且为学生创新能力和科研能力的培养提供了有利的平台。 相似文献
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1引言介质谐振器是指能替代传统的、各种以空气为介质的金属谐振腔的小型无源谐振器件。制作该类器件（包括滤波器）的材料常称介质谐振器材料。该类材料除满足一般微波介质材料的要求外，对它的特殊要求主要有：高介电常数（高ξ~'_r）、低介质损耗（低tanδ或高Q因子）和谐振频率的温度系数接近于零（τ_f≈0）。自1939年B．Q．Richtmeyer提出介质陶瓷材料可作为谐振器的设想以来，1963年发现了化镓的耿氏效应，1965年出现化镓微波固态源，紧接着发展了微带线和化镓场效应管，微波电路的小型化和集成化的焦点就集中在稳频腔和滤波器的小… 相似文献
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针对电机柔性连接负载驱动系统在加减速时会产生不稳定的扭转振动,以及刚度系数测量复杂且难以准确计算的问题,提出了通过对开环系统电机端速度响应进行时频分析,识别系统谐振频率以及调整时间的方法,进而设计了一种IP反馈控制与输入整形前馈相结合的振动抑制控制器,在提高系统响应速度的同时,达到较好的振动抑制效果。在模型不确定二质量扭转谐振平台上进行实验研究,实验结果表明该方法能够有效抑制负载端振动,并显著提高系统响应速度。 相似文献
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《河南职业技术师范学院学报(职业教育版)》2020,(2)
为使开关电源中的压电变压器(PT)始终工作在其谐振频率附近,提出了在压电变压器驱动电路中使用锁相环的方法,设计了一种通过锁相环(PLL)实现频率跟踪的系统.通过建立仿真模型,验证了锁相环在负载,环境温度等因素改变时,PLL可以锁定PT的输入电流和输入电压之间的相位差,使压电变压器工作频率稳定在谐振频率附近,并使压电变压器始终工作在最佳工作效率. 相似文献
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《洛阳师范学院学报》2021,(2):16-18
谐振现象在电子和电工技术中得到了广泛应用,谐振问题的研究有着重要的实际意义.本文介绍了一种自制的无线传能装置应用于LC并联谐振的教学,利用这种电磁感应式无线传能装置,从频率计算、电路调试、现象分析及功能展示等方面进行LC并联谐振电路的教学实施,清晰直观地解决了理论抽象的问题,从实验练习中使学生掌握并联谐振的理论及应用. 相似文献
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ZHU Bin LEUNG A.Y.T. 《浙江大学学报(A卷英文版)》2006,7(8):1351-1357
INTRODUCTION Thin-walled structures have considerable tech-nological importance in many situations of engi-neering practice. The rotary and warping inertia terms should be considered in the analyses of thin-walled structures (Alwis and Wang, 1996), although it is difficult to obtain the analytical solutions of govern-ing differential equations, especially of thin-walled frame and spatial twisted structure. The finite element method (FEM) is widely used for vibration and sta-bility analy… 相似文献
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颜桂云 《福建工程学院学报》2012,(1):12-16
为检验在役混凝土拱桥的承载能力与动力特性,对某净跨为134.7m的拱桥进行荷载试验。测试结构静态的应变、桥面挠度、拱肋挠度、吊索变形、吊索索力等结构静力反应。同时,测试了结构自振频率、动挠度及加速度等结构动力反应,根据动挠度计算得出冲击系数。将实测值与理论值进行对比分析。结果表明,应变校验系数在0.7～1.0之间,实测的挠度、吊索索力、频率及冲击系数均小于理论值,说明桥梁具有较好承载力和整体竖向刚度较好。试验方法与分析结果为今后评估与鉴定同类型桥梁提供理论依据和技术参考。 相似文献
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研究基于有限元模型的梁结构损伤识别的正反问题,即正问题采用有限元模型求解包含损伤位置和程度参数的结构前三阶固有频率,经曲面拟合技术拟合得到解曲面;反问题将实际损伤结构前三阶固有频率作为输入,绘制损伤梁结构位置和程度的等高线,根据曲线的交点识别出损伤梁结构损伤位置和程度。数值仿真算例表明:该方法具有足够的辨识精度,为梁类结构损伤识别提供了新方法。 相似文献
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主要研究了多带工作的特性,并通过设计矩形贴片微带天线--包含不同数目的并放置在两辐射端的槽, 进行分析. 分析基于MOM仿真软件包, 结论表明一个贴片上有3个槽的天线具有多带特性: 4个振荡频率分别在1. 6, 1. 8, 2. 65, 和4. 83 GHz, 并且具有足够的反射损耗和增益值. 同时证明了带有2对槽的贴片天线(槽分别位于两辐射端)有双带特性, 其振荡频率分别在1. 64和1. 8 GHz, 而且返回损耗和增益值很好. 相似文献
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1 Introduction Microactuators are the key devices of micro-electro-mechanical system( MEMS) . For many MEMS devicessuch as switches , optical attenuators , pumps andvalves to function, microactuators are required . Mo-tion of microactuators can be achieved by several kindsof actuation mechanisms . Electrostatic ,piezoelectric ,magnetostrictive, magnetic ,thermomechanical actua-tors have been reported[1-5].Among the different actu-ation principles ,the electrostatic actuationis predomi-nant… 相似文献
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研究Mathieu-Gauss(MG)光束通过光阑透镜分离系统的焦开关现象.由Collins公式,推导出了MG光束轴上光强分布公式,在此基础上作了大量的数值分析.研究发现,在光束参数和截断参数的适当取值下,MG光束存在焦开关现象.产生焦开关现象的条件是:光阑和透镜相对间距为1,光束参数必须大于其相应的临界值,而截断参数则须在它的两个临界值之间. 相似文献
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用电子束辐射降解水中的2, 4-二氯苯酚(2, 4-DCP)和五氯苯酚(PCP), 研究辐照剂量对溶液初始质量浓度各为50 mg/L的2种氯代苯酚辐射降解和去除有机氯的影响. 同时研究了溶液不同的初始质量浓度、pH值和去氧状态等条件对辐射降解的影响. HPLC的测试结果表明: 随着辐照剂量的增加,氯代苯酚的降解率增加, 溶液中的氯离子增加, 但辐照后溶液中仍有2, 4-DCP和PCP的残余物. 试验结果表明: 有机氯辐射降解的速度要比无机氯生成的速度快得多; 溶液的去氧也能加快氯代苯酚的降解; 在酸性到中性条件下比碱性条件下更利于有机氯裂解. 相似文献
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1 Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ Ｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｔｅｘｔｕｒｅｓｔｅｅｌｓｈｅｅｔｓｈａｖｅｂｅｅｎｅｘｔｅｎｓｉｖｅｌｙｕｓｅｄｉｎａｕｔｏｍｏｂｉｌｅｉｎｄｕｓｔｒｙｆｏｒｔｈｅｉｒｇｏｏｄｆｏｒｍａｂｉｌｉｔｙａｎｄｐａｉｎｔｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ.Ａｓｋｎｏｗｎ,ｔｈｅｒｅｅｘｉｓｔｅｓｆｒｉｃｔｉｏｎｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｓｈｅｅｔａｎｄｍｏｄｅｌｄｕｒｉｎｇｓｔａｍｐｉｎｇ.Ｗｈｅｎｔｈｅｓｈｅｅｔｉｓｄｅｆｏｒｍｅｄｉｎｔｏａｗｏｒｋｐｉｅｃｅ,ｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｓｈｅｅｔ… 相似文献