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近年来,随着新材料的开发,尤其是薄膜材料的发展和应用,带动磁控溅射沉积技术的飞速发展,在科学研究领域和工业生产中有着不可替代的重要作用。本文主要介绍了磁控溅射沉积技术的工艺过程及其发展情况,各种主要磁控溅射镀膜技术的特点,并介绍磁控溅射技术在各个领域的主要应用。 相似文献
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付淑英 《韩山师范学院学报》2010,31(3):35-37,42
以直流反应磁控溅射方法在Si（111）基底上制备薄膜TiN.研究发现：在保持其他工艺参数不变的条件下,溅射气压在0.3～1.3 Pa范围内,薄膜的主要成分是（111）择优取向的立方相TiN.当溅射气压为0.5 Pa时,沉积的薄膜膜层致密均匀,色泽金黄,膜厚为115.8 nm,结晶性能好.在可见光区半透明而在红外光区呈高反射,红外反射率为90%,具有良好的太阳光谱选择性. 相似文献
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根据四相整流电路的工作原理,分析并推导了不同负载情况下四相整流电路中交、直流侧谐波特性,建立了四相整流电路的仿真模型并对四相整流电路在不同负载情况下的谐波特性进行了仿真分析．研究结果表明四相整流电路直流侧只存在4的倍数次谐波,提高了整流电路中最低谐波次数．对于四相整流电路的进一步理论及应用研究具有重要的参考价值． 相似文献
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王家鑫 《郧阳师范高等专科学校学报》2009,29(3):47-49
采用射频磁控溅射沉积方法,结合氢气氛退火工艺制备了热红外探测VO2薄膜,通过优化工艺,制备出化学计量比接近理论值、高质量的VO2薄膜．利用X射线光电子能谱（XPS）对薄膜的相结构、组分进行了分析．测试结果显示,V2O5薄膜在退火温度450℃、退火2h条件下,制备得到的薄膜成分主要是VO2相． 相似文献
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根据四相整流电路的工作原理,分析并推导了不同负载情况下四相整流电路中交、直流侧谐波特性,建立了四相整流电路的仿真模型并对四相整流电路在不同负载情况下的谐波特性进行了仿真分析.研究结果表明四相整流电路直流侧只存在4的倍数次谐波,提高了整流电路中最低谐波次数.对于四相整流电路的进一步理论及应用研究具有重要的参考价值. 相似文献
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使用直流磁控溅射装置,通过在溅射过程中加入不同的金属网格,250℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射谱(XRD)对薄膜的表面形貌结构和进行了分析.研究结果表明:在磁控溅射过程中金属网格的引入能有效减小TiO2薄膜的晶粒尺寸,并且金属网格的网孔尺寸越小,晶粒尺寸越小. 相似文献
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通过液相沉积法在较低的温度下制备了TiO2/SiO2复合薄膜,利用UV-Vis、XRD和SEM等表征手段对薄膜的透明性、物相和表面形貌进行了表征;并在紫外光照下,通过薄膜对罗丹明B水溶液的光催化降解实验,评价了沉积薄膜的光催化活性.实验结果表明,在室温下制备的液相沉积膜具有较好的光催化活性. 相似文献
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《西安文理学院学报》2016,(3)
通过野外地质剖面勘察、岩心的观察与描述,并在此基础上结合各个地层的岩电特征、沉积构造类型以及沉积地球化学特征,对鄂尔多斯盆地志丹地区长2+3进行了沉积相研究.研究表明:古盐度计算结果为0.85‰~4.44‰,本区延长组应为陆地淡水湖相沉积物.长2、长3属三角洲平原亚相,以分流河道和河漫沼泽沉积为主,偶见有决口扇沉积.本区分流河道砂体发育,砂岩粒度较陕北东部细,以细砂为主,长3时期的水动力条件明显较长2弱.研究区内三叠纪延长期(中、晚期)为受北东东物源. 相似文献
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采用直流磁控溅射方法在硅油基底上沉积出具有自由支撑边界条件的金属银薄膜系统,研究了银薄膜在大气环境中的表面形貌演化规律及其物理机理。实验发现银薄膜在真空状态下基本稳定,但在大气环境中发生强烈的收缩效应,使得薄膜开裂,其表面覆盖率不断降低。分析表明这一动态演化过程基本满足指数衰减规律,并可用薄膜内应力的不断释放加以解释。随着银薄膜的不断收缩,薄膜表面可呈现出异常丰富的褶皱形貌:在薄膜边界附近呈现基本垂直于边界的直线状条纹结构;而在薄膜中间区域,将形成二次起皱的扭曲状花样和无序网格状褶皱形貌。从单轴应力和双轴应力理论的角度出发,对各类奇特的褶皱形貌进行了细致的分析和讨论。 相似文献
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随着分布式光伏发电和光伏建筑一体化的发展,光伏直流供电系统将得到广泛的使用。在大功率光伏直流供电系统中,通过采用移相全桥变换器实现光伏能量的控制,用于实现最大功率点跟踪或者稳压。本文主要以光伏直流供电系统为研究对象,对光电互补并联供电系统中的全桥电路进行了最大功率点跟踪和稳压设计,采用DSP进行数字移相控制,重点对补偿网络进行了数字化设计,并进行了供电系统的软硬件设计。样机实验结果表明,采用数字移相的高频链光伏供电系统可以实现光伏阵列的最大功率点跟踪或者直流负载稳压。 相似文献
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汪良红 《胜利油田师范专科学校学报》2007,(2)
三相变压器的内部质量和正常运行,通常可通过测得的各相线圈的直流相电阻来判定。但当三相变压器无中性点引出线时,无法测得相电阻,并且在测得的各相电阻不平衡的情况下,仅能通过公式换算得到相电阻。根据电阻的串、并联公式,采用初等数学的方法,推导出三相变压器直流线电阻换算为直流相电阻的公式。 相似文献
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刘仲恕 《福建工程学院学报》2014,(3):211-215
以新型4相24极车用无刷直流电动机为研究对象,采用改进遗传算法对其转速控制系统进行了优化设计。该遗传算法在相当程度上解决了标准遗传算法搜索效率低和早熟收敛的问题。仿真结果表明:相对于传统的3相6拍无刷直流电动机,采用改进遗传算法转速控制系统的4相24极无刷直流电动机具有转矩脉动较低、输出相应快速、稳态性能好以及抗干扰能力强等优点。 相似文献
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目的层段的沉积微相研究是认识储层各种物性特征的重要基础。以利津南区沙二段为研究对象。确定为滨浅湖相沉积，并划分出四种沉积微相类型。研究表明，滩坝砂沉积是主要含油储集层。反映了沉积微相研究在储层物性特征分析中的重要作用。 相似文献
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汪良红 《中国石油大学胜利学院学报》2007,21(2):15-16
三相变压器的内部质量和正常运行，通常可通过测得的各相线圈的直流相电阻来判定。但当三相变压器无中性点引出线时，无法测得相电阻，并且在测得的各相电阻不平衡的情况下，仅能通过公式换算得到相电阻。根据电阻的串、并联公式，采用初等数学的方法，推导出三相变压器直流线电阻换算为直流相电阻的公式。 相似文献
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采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示：薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于（002）晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显. 相似文献
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用直流磁控溅射技术在室温下制备了厚度为108和215nmAu膜。利用常规CBD扫描模式对Au膜微结构进行分析。XRD分析表明Au膜在平行于基片表面沿<111>方向择优生长;薄膜的晶格常数与金粉末的晶格常数(a=4.0862F)一致,晶粒尺寸随膜厚变化不明显。 相似文献