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60年代后期,美国Bell实验室和IBM公司的华裔学者卓以和、张立纲首先提出,利用在超高真空中(10~(-9) ~10~(-11)托)分子运动的喷射效应(自由程可达100厘米以上)来进行分子尺度超薄层材料外延生长,即今天人们称之为分子束外延或MBE(Molecular Beam Epitaxial)技术。MBE技术的成功,使得在各种基底材料上任意地生长出厚度为原子(或分子)尺度量级的 相似文献
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我国第一台激光分子束外延设备研制成功 总被引：2，自引：0，他引：2
激光分子束外延是近几年才出现的一种新型高精密制膜技术,它集普通脉冲激光沉积(PLD)的特点和传统分子束外延(MBE)的超高真空精确控制原子尺度外延生长的原位实时监控为一体,不仅可以生长通常的半导体超晶格材料,尤其适于制备多元素、高熔点、复杂层状结构,如超导体、光学晶体、铁电体、压电体、铁磁体以及有机高分子材料等薄膜,同时还能进行其相应的激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究。因此,激光分子束外延具有重要的学术意义和广泛的应用前景。 相似文献
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获得大面积的组成均匀的高质量HgCdTe外延材料是光伏型红外焦平面列阵探测器(FPA)制备的关键问题。HgCdTe液相外延(LPE)制备技术是现今HgCdTe红外探测器工业所使用的主流技术。从80年代开始,人们研究发展了HgCdTe材料的分子束外延(MBE)技术。大量研究表明,MBE HgCdTe材料具有更好的表面形貌、更好的外延层组成和厚度均匀性,以及更好的组成x值和电学参数控制能力等优点。MBE HgCdTe材料性能以及所制备的探测器水平已经达到与LPE HgCdTe材料相媲美的水平。 相似文献
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本文介绍了一种智能化石英坩埚在线清洗系统,包括配酸系统、酸洗系统、纯水冲淋系统、PLC控制系统。配酸系统按照预定的酸液与纯水配比配置一定浓度的酸。将配好的酸液导入酸池用于石英坩埚的酸液喷淋,酸洗系统中的酸液可以循环利用,配酸系统在石英坩埚酸洗过程中对酸洗池的酸液用量和浓度进行监控,并对酸洗池中的酸液品质进行改善和补充。酸洗完成后,石英坩埚进入纯水冲淋系统进行纯水冲洗,去除酸洗过程中坩埚表面残留的杂质。整套系统由PLC控制系统进行控制,实现石英坩埚自动化智能化在线清洗。 相似文献
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随着分子束外延(MBE)、化学束外延(CBE)以及金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)等超薄层生长技术的发展,人们已经成功地生长出原子级厚度和原子级平整的优质异质结构外延材料。以此为基础,研制成功多种新一代半导体光电子和微电子器件,如:量子阱激光器、高电子迁移率晶体管(HEMT)和异质结双极晶晶体管(HBT)等。这些器件不仅大大促进了国防电子工程技术的发展(如雷达、导弹),而且在超高速计算机、卫星通讯和电视接收等方面也有重要应用。超薄层外延材料具有许多新颖的物理特性,已成为凝聚态物理研究前沿领域之一。随着器件尺寸的减小,表面和界面效应越来越突出,并严重影响器件性能。因此,利用现代表面分析技术,从原子尺度上了解超薄层材料生长机理,及器件表面和界面的物理特性,有利于新型材料和器件的发展。三年来,我们在此领域做了许多深入研究,取得了一批具有较高学术价值和应用价值的研究成果。 相似文献
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电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance, ECR)等离子体源是用来产生单电荷态离子束的等离子体装置,它可以产生束流较强或者较高的电荷态离子,同时还能提供束流的稳定性、重复性和工作寿命。引出系统的设计对ECR等离子体源是至关重要的,引出系统对等离子体的引出束流有直接影响,良好的引出系统设计可以提高引出束流强度。采用有限元分析方法对ECR等离子体源引出系统进行分析与设计,得到了满足设计需求与目标的引出束流。 相似文献
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北京正负电子对撞机升级改造工程 (BEPCII)的直线注入器 (LINAC)要求建立束流轨道的自动校正系统 ,为此对束流轨道偏离的产生原因和轨道校正的方法进行了研究 ,并采用VC 语言编写了相应的校正程序 ,利用最小二乘法原理对束流轨道的校正进行了模拟计算 ,取得了较为理想的结果 相似文献
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为在高能直线加速器出口获得尽可能好的束流品质,严格控制束流在加速器中的轨道是至关重要的。首先定量研究了束流的初始偏轴和加速器部件的安装误差对束流轨道偏轴的影响,并以北京正负电子对撞机二期工程(BEPCII)的直线加速器为例,给出了上述各种误差导致轨道偏轴的模拟计算结果及其分析。进而讨论了BEPCII直线加速器轨道校正系统的设计研究,给出了轨道校正系统的优化布局和对加速器部件的安装公差要求。 相似文献
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人畜饮用水中砷、氟、矿化度的超标,是影响三江源区饮水安全的因素之一。本文针对人畜饮水中砷、氟超标情况,引进F-Catch、As-Catch2高性能粒状吸附材料,进行技术开发,设计出JCD-砷(氟)吸附系统。这种吸附材料对氟、砷酸、亚砷酸具有很高的吸附能力,吸附能力是目前国内外砷、氟吸附剂吸附能力的6倍以上,能吸附大量0.01ppm以下低浓度的氟离子和砷酸、亚砷酸。将JCD-砷(氟)吸附系统与活性碳联用形成砷、氟水处理工艺流程,该工艺流程的处理能力可达到0.5m3/h,按照国家农村用水标准每人每天40L水,能够解决200人的安全饮用水,适合于农村人畜安全饮水的需求。并在项目区进行了试验示范,将含砷原水打入JCD-砷(氟)吸附系统,吸附系统中的功能材料As-Catch2与进水中的砷进行物化反应。再通过JCD-砷(氟)吸附系统中的As-Catch2层下方的30cm高度的多孔质活性炭滤层,利用活性炭具有的高效吸附作用,吸附水中的微污染物质,最终出水进入集水箱中,通过泵打入居民生活用水管道,进入用户家中得以安全使用。设备处理速率快、时间短,无需进行预处理,实现了砷、氟、磷等指标的同时去除,砷去除率达到100%,氟去除率达到85%以上,处理后的水质满足国家生活饮用水卫生标准,且系统不产生污泥,节省了污泥处理费用,设备结构简单、具有灵活的可变性、成本较低,自动化程度高、操作简单、易于管理,为三江源区人畜安全饮水提供了技术保障。 相似文献
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中国科学院基础科学局 《中国科学院院刊》2003,18(2):100-104,157
纳米结构/薄膜生长及表面动力学问题研究完成单位：物理研究所主要完成人：薛其坤，王恩哥，贾金锋，刘邦贵随着微/光电子器件性能的多样化程度增加和其尺寸不断减小的发展趋势，具有零维、一维和二维尺度的表面纳米结构/薄膜已成为开拓新一代功能器件的研究前沿。在原子水平上研究生长过程中的表面动力学问题，对于生长初期纳米结构的形成和控制直至应用都是极端重要的。然而，尽管人们在理论和实验方面都进行了长期探索，但仍有很多基本问题没有解决。如，在薄膜外延生长中，常常引入表面活性剂来提高薄膜质量，已建立了20多年的经典扩散… 相似文献
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保证挥发分测定结果的准确度,应注意实验设备的选择及人为因素的影响;坩埚质量、坩埚架质量对挥发分的影响;坩埚在坩埚架上的摆放对挥发分的影响等问题。 相似文献
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