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真空镀膜技术广泛应用于现代科学技术的很多领域。起初最主要用于光学薄膜。最典型的方法是采用真空蒸发法将成膜材料按设计要求淀积在工件表面从而获得所需的反射、增透、截止、带通、偏振等效果。真空镀膜技术飞速进步,日益完善,真空镀膜技术已从以真空热蒸发法为主要手段的情况发展成包括电子束加热蒸发、溅射、离子镀、激光蒸发以及各类化学气相沉积等许多各领域。以及在制备过程中观察膜生长情况的方法。采用蒸发镀膜,或者采用真空溅射沉积方式,在基底材料的表面形成一层薄膜的设备,间接观察成膜表面薄膜形成过程的方法。模拟技术已作为教学的一部分,仿真应用于实验教学训练。 相似文献
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溅射镀膜技术采用高能粒子轰击靶材,溅射出的粒子重新沉积凝聚在固体表面形成薄膜,这种技术在现代薄膜材料制备过程中得到广泛应用。本文阐述了目前直接利用辉光放电中产生的离子进行溅射镀膜技术在单原子金属、半导体材料、绝缘材料、化合物薄膜材料制备工艺的研究进展以及展望。 相似文献
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阐述了采用nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备TCO镀膜玻璃时,在TCO玻璃生产线上出现的玻璃连续炸裂的问题,通过分析和多次对加热炉温度曲线、气浮台高度、镀膜腔室尾气排放量、加热炉与镀膜腔室间隙等工艺及设备调整,对可能存在的原因逐一排查,最终确定炸裂的主要因素,并加以改进,使离线式TCO镀膜玻璃炸裂问题得到了最终解决。 相似文献
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环形锥面蒸发源模型对沉积膜厚均匀性计算有局限性。针对电子束蒸发镀膜挖坑效应设计一种新的小圆锥体蒸发模型,提出一种新的公式计算沉积膜厚均匀性。采用相同工艺条件,不同时间蒸镀二氧化硅薄膜,验证了小圆锥体模型计算电子束蒸发挖坑膜厚均匀性准确可靠,并成功解释了随着蒸发时间的延长,均匀性变差的原因。该方法可以用于实验教学,真空镀膜工艺以及真空镀膜设备生产领域。 相似文献
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利用Visual Basic 2010结合OpenGL API,在Windows 7操作系统平台下制作了真空镀膜实验仿真系统。三维虚拟设备模型由3D MAX软件制作,三维模型交互操作通过OpenGL API实现。该软件还可以模拟真空仪器所处的各种运行状态并对操作错误步骤进行处理。构造了薄膜生长的蒙特卡罗理论模型,并利用该模型研究薄膜生长的形貌,对于决定薄膜形貌诸多影响因素也可进行讨论;利用高性能图形处理软件(OpenGL API)成功展示了薄膜成长的分形特征及表面粗糙度表征。该软件有效地实现了镀膜过程及薄膜生长过程,增强了学生对薄膜生长机理的理解,提高了教学质量,培养了学生学习兴趣和增强了学生的实验操作能力。 相似文献
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针对MD-450C型的真空镀膜机不能完成浅PN结的后期工艺处理问题,文章介绍了真空镀膜机的改造以及利用改造后的设备进行高低结的真空制备.通过对四电极霍尔效应样品的桥式等效电路的讨论,得出了浅PN结两侧导电类型同时测量的快速方法. 相似文献
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赵晋涛 《山西教育(综合版)》2014,(10):58-58
介休市今年再投入2372万元加强信息技术类装备建设。全市以公开招投标的形式,集中采购了75个机房,3431台学生用机和1649台教师用机,力争达到义务教育阶段专任教师每人一台计算机的目标。 相似文献
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《中小学信息技术教育》2009,(4)
3月19日,华中科技大学附属小学在走廊上新装20台试听机,打造视听走廊。该校校长李晓艳介绍,这批试听机是学校花2万元从深圳引进的,安装在不同楼层,并根据不同的年级段在试听机里装上故事、儿歌、世界名曲等光盘。 相似文献
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光学系统一般要通过镀膜来提高系统的透过性能,光学零件(基底)镀膜前表面的清洁质量直接影响镀膜的薄膜质量,如薄膜表面质量(光洁度)、膜层牢固度。通过对不同光学零件清洁方法的评述,分析了影响光学零件膜层表面质量与牢固度的因素,提出了一些工作实际中的改进措施。 相似文献