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采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示：薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于（002）晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显. 相似文献
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