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针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充。介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路。
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信息技术包括多媒体技术、虚拟仿真技术、网络技术.等等。它的飞速发展和广泛普及,使得传统的教学方法正在向现代教育技术方法转变。针对新兴的多学科综合的微电子专业.作者讨论了信息技术在微电子专业教学中的作用与意义.联系实际教学实践,指出了各种信息技术的特点及应用中需注意的关键问题。
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3.
本文作者分析了传统的微电子工艺实践教学存在的不足,构建了微电子工艺实践教学网络平台。该网络教学平台包括课程信息、研究型教学、网络自主学习等功能模块。网络教学平台能帮助学生全面地掌握微电子工艺实践教学内容,有效地实现了教师的主导作用与学生主体作用的最佳组合,提高了课程的教学质量与效益。将网络教学平台用于开展研究型教学,有助于创新人才的培养。
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