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阈值电压是半导体晶圆测试的一个重要指标,它和半导器件参数等许多方面有紧密的联系,magic number(N)是一个基于线度计算阈值电压经验公式的关键值.基于自主研发的WAT Analyzer软件对相关实测数据处理,对比根据实测数据用跨导法计算阈值电压的结果,经统计分析提出了一个N的新值.通过实测数据进行检验,验证了N值的有效性. 相似文献
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