高校微机电系统加工实验室的管理与运行     

王胜强  李冬玲  尚正国  贺学锋 《实验技术与管理》2010,27(11)

微加工超净实验室是微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)研究的基础条件.超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要.结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索.  相似文献   

硅基AlN MEMS振动能量收集器实验设计     

尚正国  李东玲  佘引 《实验技术与管理》2018,(7)

设计了基于压电效应的硅基AlN MEMS(微机械系统)振动能量收集器实验。从实践教学的角度,全面系统地介绍了能量收集器的基本原理、AlN压电薄膜的制备、能量收集器兼容加工工艺流程的设计及优化到原理样机的研制及性能测试,为解决目前传统电源无法满足无线传感网络节点供能的瓶颈问题提供了有效的途径。同时,该实验的成功开展对于仪器科学与技术以及微电子学专业硕士及博士研究生的培养起到了积极的促进的作用。  相似文献