排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
中国科学院等离子体物理研究所承担的国家重大科技基础设施项目“EAST(原名HT-7U)超导托卡马克核聚变实验装置”是基于上世纪末托卡马克最新成果而设计,瞄准国际核聚变能研发前沿,开展稳态、安全、高效运行的先进托卡马克聚变反应堆基础物理和工程问题实验研究,为我国工程试验堆的设计建造提供科学依据,推动等离子体物理学科、相关学科和技术的发展。 相似文献
2.
3.
使用电子束曝光或者聚焦离子束设备制备纳米针尖,虽然精度高但不能大面积快速制备;使用紫外曝光设备可以大面积快速制备,但制备精度达不到纳米量级。该文基于泊松亮斑效应,提出在常规紫外曝光设备中制备大面积、可控的纳米针尖阵列的方法。通过调控掩膜版图形和曝光剂量得到了直径小于100 nm的光刻胶的纳米针尖阵列,然后用反应离子刻蚀将光刻胶图案转移到硅衬底上得到了直径小于50nm、径高比达1∶10的超细纳米针尖阵列。泊松亮斑曝光能极大地提高紫外曝光机的分辨率,该方法可操作性强并可大面积制备,是一种可行的曝光技术。 相似文献
4.
1