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介绍一种由敏感元件和双稳态触发器电路组成的新型半导体集成传感器,该传感器具有灵敏度高和数字量输出的特点.论述了传感器的工作原理和结构,详细分析了噪声对传感器特性的影响,定量地论述了三角波电压的调制作用及其对传感器性能的改进,并以集成压力传感器为例进行了讨论.实验结果与理论分析基本相符.  相似文献   
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