离线式TCO镀膜玻璃炸裂的原因及对策     

蒋振伟  薛文鑫 《安阳工学院学报》2015,(2):35-37

阐述了采用nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备TCO镀膜玻璃时,在TCO玻璃生产线上出现的玻璃连续炸裂的问题,通过分析和多次对加热炉温度曲线、气浮台高度、镀膜腔室尾气排放量、加热炉与镀膜腔室间隙等工艺及设备调整,对可能存在的原因逐一排查,最终确定炸裂的主要因素,并加以改进,使离线式TCO镀膜玻璃炸裂问题得到了最终解决。  相似文献