排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 0 毫秒
1
1.
先进电子制造中的重要科学问题 总被引：28，自引：0，他引：28
电子信息产业是关系国家利益和安全的基础性和战略性产业。成为先
进电子制造（AEM）强国是我国21世纪发展的战略目标，实现这一目标的关键是必须能
自主地提供电子产业的AEM工艺、技术和装备。电子业的迅速发展，对制造装备的极限制造
能力提出了严峻的挑战。其主要技术特点有：高运动精度(亚微米至纳米级定位精度)、高加
速度(>15g)、高制造精度和高可靠性。提出面向下一代AEM新理论、新方法，造就一大批从
事该领域的高科技人才，为我国AEM产业拥有自主产权的新工艺、新装备、实现跨越式发展
提供技术基础是21世纪我国基础性研究面临的一项紧迫任务。本文论述了AEM领域的国内外
现状、提出了该领域存在的重要科学问题和将要实施的计划措施。 相似文献
1