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采用双光束干涉测量装置,对SONY公司的LCX023CMT的薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）进行了测试利用计算机对得到的干涉条纹图像进行滤波、二值化、条纹细化和二值图像的滤波等一系列处理。计算出干涉条纹因LCD相位调制而移动的相位把参考灰度分别为255和0时测得的数据做了比较并取平均值绘制出LCD相位调制特性曲线。通过定性的分析,该方法能够在一定程度减少系统误差和随机误差在相移干涉测量中。用LCD代替PZT相移器能大大简化光路系统,同时避免机械运动。实现相移量的全数字化控制。 相似文献
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