Cu层位置对ZnO透明导电薄膜光电特性的影响     

陈薇薇  岳冬辉  杜忠奎  李道胜  田雷 《黑龙江科技信息》2013,(11):30-30

采用磁控溅射技术在玻璃基底上制备出了ZnO/Cu/ZnO、ZnO/Cu、ZnO单层三种透明导电薄膜,利用几种表征手段分析了Cu层位置对ZnO薄膜的结构形貌、光电性能的影响。结果表明,Cu层的加入会降低薄膜的透射率和提高导电性,其中ZnO/Cu/ZnO结构的透射率略高,ZnO/Cu结构的电阻率最低。  相似文献