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金刚石由于它在力学、热学、光学及电子学方面极其优异的性能和最近它在低压合成方面的成功,近年来它的研究和开发吸引了很多人,形成了一股热潮。但是也遇到了困难,其中最突出的是,对金刚石膜的生长和形核机理还不很清楚,使得人们不能很好地控制膜的生长和质量,来满足实际应用中的各种要求。其次,大面积的异质外延金刚石单晶膜还未能获得,不能实现金刚石膜在高温、高速、高功率和高集成度电子器件上的应用。碳的平衡相图告诉我们,在低温低压生长条件下石墨是稳定相;而只有在高温高压生长条件下,金刚石才是稳定相。所以在低压下用… 相似文献
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