统计过程控制在晶闸管制造中的应用     

王峰瀛  范晓波  耿涛 《中国科技纵横》2011,(22):337-337,344

统计过程控制（SPC）技术已广泛用于半导体器件生产,采用SPC技术可以提高半导体器件的质量和可靠性。利用控制图可以监控生产过程状态,对生产中出现的异常及时进行分析、改进,使半导体器件工艺的生产过程处于受控状态。本文介绍了SPC技术的基本概念和技术控制流程、常规控制图及其分类以及引用的国家标准。并以磷扩散工艺为例,阐明了该技术在晶闸管生产中的应用。  相似文献