MEMS光学开关的设计与分析     

何文苗  张华  郝永平 《环球赛鸽科技》2013,(24)

由于传统机械结构设计的方法的种种缺点,本文提出了一种以系统级分析方法的方法实现 MEMS光学开关的快速设计与优化。通过采用Coventorware软件ARCHITECT模块建立MEMS光学开关模型,分析了多物理耦合场下 MEMS光学开关的动态响应特性,得到位移和电压大小的对应关系曲线,以及固有频率分析曲线。结合微机械工艺要求,通过系统级仿真,大大缩短了设计周期,同时提高机械结构的合理性。  相似文献