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| 划片中湿度对管芯电特性的影响 | |
| 引用本文： | 张玲玲,范志为,王世贵.划片中湿度对管芯电特性的影响[J].黑龙江科技信息,2011(6):10-10. |
| 作者姓名： | 张玲玲 范志为 王世贵 |
| 作者单位： | 天光半导体有限责任公司,甘肃,天水,741000 |
| 摘 要： | 硅片经过划片工艺后被分离为成千上万只独立管芯,在实际生产中器件的反向电特性异常,出现了反向漏电流向上漂移现象,通过试验采用低温烘焙得到了电特性合格的管芯。分析了在相对湿度偏大的生产环境中,容易使管芯表面吸潮引起反向漏电流增大,而使管芯电特性失效。 |
| 关 键 词： | 划片 湿度 管芯 电特性 |
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