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| α型籽晶对氧化铝基薄膜低温生长及力学性能的影响 | |
| 引用本文： | 程奕天.α型籽晶对氧化铝基薄膜低温生长及力学性能的影响[J].深圳职业技术学院学报,2021(1). |
| 作者姓名： | 程奕天 |
| 作者单位： | 深圳职业技术学院博士后创新基地 |
| 基金项目： | 深圳职业技术学院博士后启动基金资助项目(6019330010K0)。 |
| 摘 要： | 采用Al+α-Al2O3复合材料及Al100-xCrx(x=10,20,30)合金作为靶材,用反应磁控溅射将α型籽晶引入氧化铝基薄膜中,研究了籽晶对氧化铝基薄膜的元素比例、相组成、结构特征、表面形貌及纳米硬度的影响.结果显示,在550℃时溅射Al+α-Al2O3复合靶所得的薄膜由单相的α-Al2O3组成,而在同一温度下采用Al70Cr30合金靶所制得的薄膜中检测到α-(Al0.7Cr0.3)2O3固溶体.纯α-Al2O3薄膜及α-(Al0.7Cr0.3)2O3固溶体薄膜的纳米硬度分别达到~23.5GPa和~28.5GPa. |
| 关 键 词： | α型籽晶 薄膜 低温生长 纳米硬度 |
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