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| 新型薄膜热电变换器的误差分析及其设计制作 | |
| 作者单位： | ;1.赣南师范大学物理与电子信息学院;2.中国计量大学信息与控制学院 |
| 摘 要： | 交流电压(流)基准是国家交流电压(流)量值传递中的基准计量器具.首先分析新型薄膜热电变换器的热电转换误差,提出采用微桥谐振器非接触式测量加热电阻温度,属于新型薄膜热电变换器中加热电阻的高灵敏度温度检测方式、减小温度传感器与加热电阻之间的寄生电容、减小因热电效应、寄生电容和介质损耗引起的交直流转换误差,从而具有较高的测温灵敏度.其次研究新型薄膜热电变换器设计制作中的关键工艺,加热电阻辐射的热量使得微机械桥平均温度上升,轴向压应力增加(或拉应力减小),谐振频率减小,通过测量微桥谐振频率的变化获得加热器的温度信息,而温度测量元件从加热电阻汲取的热量极小.这种新型薄膜热电变换器的测量输出量为频率信号,受电路噪声影响很小,因此是一种高计量精度的薄膜热电转换器. |
| 关 键 词： | 薄膜热电变换器 谐振器 微电子机械系统 交流电压标准 交流电流标准 |
Study on the Thermoelectric Conversion Transfer Error and Fabrication Process of Novel Film Thermal Converter |
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| Keywords: | |