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| 氧气流量对磁控溅射制备AZO薄膜特性的影响 | |
| 引用本文： | 范丽琴,赖发春.氧气流量对磁控溅射制备AZO薄膜特性的影响[J].大观周刊,2012(21):67-69. |
| 作者姓名： | 范丽琴 赖发春 |
| 作者单位： | [1]华侨大学厦门工学院,福建厦门361021 [2]福建师范大学物理与光电信息科技学院,福建厦门361021 |
| 摘 要： | 利用直流磁控溅射方法在BK-7基片上制备掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜。研究氧气流量对薄膜电学和光学性质的影响，分析结构和光电学性质改变的机理。X射线衍射的结果发现，氧气浓度为0．5％时制备的薄膜的衍射峰最强．且出现了新的（102）和（110）衍射峰。实验结果表明，随着氧气流量的增加，电阻率（p）先减小后增大，在氧气浓度为0．5％时获得最低电阻1．5×10^-3。所有样品在可见光区的平均光学透过率都在85％左右．在氧气浓度增到1．5％时可见光区的平均透射率达87％。 |
| 关 键 词： | AZO 薄膜 磁控溅射 光电学性质 |
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