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| 多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展 | |
| 引用本文： | 董培讲.多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展[J].黑龙江科技信息,2014(15):98-98. |
| 作者姓名： | 董培讲 |
| 作者单位： | 六九硅业有限公司; |
| 摘 要： | 科学技术的快速发展,使得多晶硅薄膜的制作工艺得到了完善优化,并且,多晶硅薄膜也已经得到了广泛的应用。本文介绍了结合现有工艺条件制作多晶硅纳米薄膜的多种工艺方法,细致研究了工艺条件对多晶硅纳米薄膜应变系数的影响,分析了多晶硅薄膜制备工艺的应用发展,希望能够为相关人员提供参考借鉴。 |
| 关 键 词： | 多晶硅薄膜 制备工艺 压阻特性 应变系数 |
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