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干式洗净装置日开发出二氧化碳

引用本文：	辛华.干式洗净装置日开发出二氧化碳[J].世界发明,2003(12).

作者姓名：	辛华

摘要：	液晶面板在传统制造程序中需大量的水洗,不但费水,也产生废水处理的困扰,日本研发的二氧化碳干式洗净装置,除可降低设备运转成本,还可将洗净剂回收循环使用,产出高品质、高洁净度产品。
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