| Langmuir探针测量低温等离子体参数特性实验 |
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| 引用本文： | 符斯列,陈俊芳.Langmuir探针测量低温等离子体参数特性实验[J].实验室研究与探索,2010,29(3). |
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| 作者姓名： | 符斯列 陈俊芳 |
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| 作者单位： | 华南师范大学,物理与电信工程学院,广东,广州,510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，教育部高校博士点专项科研资助项目，广东省自然科学基金重点项目 |
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| 摘 要： | 介绍了Langmuir探针测量等离子体参数特性的实验原理和方法,采用Langmuir单探针诊断了电子回旋共振等离子体参数的分布特性。结果表明,在一定微波功率下,气压增加,等离子体密度趋于饱和。将Langmuir单探针测量等离子体特性实验引入高年级近代物理实验课程的综合创新实验,使得学生在动手实验的过程中接触到物理学科研究前沿领域的技术与知识,激发学生的创新意识和提高创新能力。
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| 关 键 词： | Langmuir单探针 低温等离子体 特性诊断 |
Experimental Teaching of Diagnosis of Low-Temperature Plasma by Single Langmuir Probe |
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| FU Si-lie,CHEN Jun-fang.Experimental Teaching of Diagnosis of Low-Temperature Plasma by Single Langmuir Probe[J].Laboratory Research and Exploration,2010,29(3). |
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| Authors: | FU Si-lie CHEN Jun-fang |
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| Institution: | FU Si-lie,CHEN Jun-fang(School of Physics , Communication Engineering,South China Normal University,Guangzhou 510006,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Langmuir probe low-temperature plasma diagnosis |
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