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| 亚波长金属光栅光刻条纹分布 | |
| 引用本文： | 米佳佳,张颖,石建平.亚波长金属光栅光刻条纹分布[J].淮南师范学院学报,2015(3). |
| 作者姓名： | 米佳佳 张颖 石建平 |
| 作者单位： | 安徽师范大学 物理与电子信息学院,安徽 芜湖,241000 |
| 摘 要： | 亚波长金属光栅表面等离激元( SPP)具有光场局域增强、异常透射等现象，被广泛用于光刻。利用FDTD Solutions软件，改变金属光栅材料、周期、厚度等因素，通过有限时域差分方法探究表面等离共振光刻条纹分布特点。仿真结果表明，亚波长金属光栅光刻条纹分布周期是光栅的周期一半，光刻条纹强度在表面等离共振波长作用下也会大于入射光强度。该研究为微纳米光学器件的设计提供了依据。 |
| 关 键 词： | 亚波长金属光栅 表面等离子体激元 光刻 有限时域差分方法 |
The striped distribution of sub-wavelength metallic gratings lithography |
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| MI Jiajia,ZHANG Ying,SHI Jianping.The striped distribution of sub-wavelength metallic gratings lithography[J].Journal of Huainan Teachers College,2015(3). | |
| Authors: | MI Jiajia ZHANG Ying SHI Jianping |
| Abstract: | |
| Keywords: | Sub-vavelength metallic gratings Surface Polariton Plasma (SPP) lithography Finite Difference Time Domain(FDTD) |
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