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| 氩气、氮气对纳米金刚石膜形貌及结构的影响研究 | |
| 引用本文： | 王明磊,薛长山,姜宏伟,彭鸿雁.氩气、氮气对纳米金刚石膜形貌及结构的影响研究[J].黑龙江科技信息,2010(28):39-39. |
| 作者姓名： | 王明磊 薛长山 姜宏伟 彭鸿雁 |
| 作者单位： | 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室,黑龙江,牡丹江,157012 |
| 基金项目： | 牡丹江师范学院研究生学术科技创新重点项目 |
| 摘 要： | 采用热阴极PCVD法,在CH4/H2的混合反应气源中通入不同气体(氩气、氮气)在P型(100)硅衬底上,合成了纳米金刚石膜。结果表明:Ar-90%时,金刚石薄膜表面晶粒尺寸达到纳米量级,在表面出现二次形核现象;N2-1%时,金刚石薄膜表面晶粒细化,晶界和缺陷增多,出现纳米级"菜花状"结构,氮气对金刚石晶粒有一定刻蚀作用出现凹陷生长现象。 |
| 关 键 词： | 热阴极PCVD法 纳米金刚石膜 氩气 氮气 |
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