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| 电镀金刚石线锯切割单晶硅的试验研究 | |
| 引用本文： | 李志强,张栋,曹晓彦,孙骏,陈曦.电镀金刚石线锯切割单晶硅的试验研究[J].内江科技,2013,34(5):49+25. |
| 作者姓名： | 李志强 张栋 曹晓彦 孙骏 陈曦 |
| 作者单位： | 1. 胜利海洋钻井公司 2. 胜利钻井工艺研究院 3. 胜利钻井技术公司职工培训中心 |
| 摘 要： | 本文利用电镀金刚石线锯对单晶硅进行了切割试验,研究了锯丝运动速度、工件进给力对材料加工质量、加工效率、锯切力的影响。研究发现,单晶硅加工表面存在划痕和凹坑,材料为脆性去除。加工效率随锯丝运动速度、工件进给力的增大而提高。锯丝运动速度增加,锯切力减小;工件进给力增大,锯切力也增加。最后通过正交实验对工艺参数进行了优化。 |
| 关 键 词： | 单晶硅 电镀金刚石线锯 试验研究 |
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