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| MEMS光学开关的设计与分析 | |
| 引用本文： | 何文苗,张华,郝永平.MEMS光学开关的设计与分析[J].环球赛鸽科技,2013(24). |
| 作者姓名： | 何文苗 张华 郝永平 |
| 作者单位： | 沈阳理工大学,辽宁 沈阳,110159 |
| 摘 要： | 由于传统机械结构设计的方法的种种缺点，本文提出了一种以系统级分析方法的方法实现 MEMS光学开关的快速设计与优化。通过采用Coventorware软件ARCHITECT模块建立MEMS光学开关模型，分析了多物理耦合场下 MEMS光学开关的动态响应特性，得到位移和电压大小的对应关系曲线，以及固有频率分析曲线。结合微机械工艺要求，通过系统级仿真，大大缩短了设计周期，同时提高机械结构的合理性。 |
| 关 键 词： | 系统级仿真 微机电系统 频率分析 直流分析 |
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