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| 低温等离子体技术及其应用研究 | |
| 引用本文： | 张宝顺,肖建忠,鲍守珍,宗冰,魏东亮,安军林,王体虎.低温等离子体技术及其应用研究[J].青海科技,2018(2). |
| 作者姓名： | 张宝顺 肖建忠 鲍守珍 宗冰 魏东亮 安军林 王体虎 |
| 作者单位： | 亚洲硅业(青海)有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司;青海省硅材料重点实验室 |
| 摘 要： | 等离子体是由自由电子、离子和中性粒子组成的非束缚态宏观体系,是除去固、液及气态外,物质存在的第四态。按照热平衡状态,等离子体可以分为完全热力学平衡等离子体、局部热力学平衡等离子体以及非热力学平衡等离子体。非热力学平衡等离子体(低温等离子体)由于产生装置简单、容易制造、宏观温度低等优势,近年来成为各领域广泛研究的热点。本文重点论述低温等离子体技术在多晶硅行业的应用现状及前景,并结合青藏高原特点,提出低温等离子体技术在青藏高原环保方面的应用。 |
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