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| 提高石英音叉钨丝探针制作成材率 | |
| 作者单位： | ;1.北京航空航天大学物理科学与核能工程学院微纳测控与低维物理教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 针对探针的腐蚀及粘接制约原子力显微镜实验开展的问题,提出一种制作原子力显微镜石英音叉钨丝探针的方法。通过对原有腐蚀装置的改进,提高了钨丝针尖的成材率;钨丝探针粘接装置的开发极大地避免了人为因素的干扰,提高了针尖粘接的效率。最后通过实验来验证腐蚀方法及粘接装置的可行性。 |
| 关 键 词： | 原子力显微镜 石英音叉钨丝探针 工艺改良 粘接装置 |
Improving rolling yield of quartz tuning fork-tungsten probe |
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