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微波反应腔中电磁场分布与等离子体行为研究
引用本文:张德新,邹卫东.微波反应腔中电磁场分布与等离子体行为研究[J].郧阳师范高等专科学校学报,2003,23(3):17-19.
作者姓名:张德新  邹卫东
作者单位:1. 郧阳师范高等专科学校,物理系,湖北,丹江口,442700
2. 华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074
基金项目:湖北省教育厅重点科研项目(2003A003)
摘    要:从麦克斯韦方程组出发,采用有限积分法计算出了微波反应腔中给定等离子体的空间分布时电磁场的分布情况,以及给定电磁场的空间分布时等离子体的分布情况,从而得到了微波反应腔中电磁场的稳定分布和影响等离子体放电位置的参数。

关 键 词:微波反应腔  电磁场  等离子体
文章编号:1008-6072(2003)03-0017-03
修稿时间:2003年5月19日

Study of Electromagnetic Field Distribution and Plasma Character in Microwave Reactor
ZHANG De - xin,ZOU wei - dong.Study of Electromagnetic Field Distribution and Plasma Character in Microwave Reactor[J].Journal of Yunyang Teachers College,2003,23(3):17-19.
Authors:ZHANG De - xin  ZOU wei - dong
Abstract:Basing on Maxwell equations, we have used the Finite Integration Theory (FIT) and calculated electromagnetic field space distribution of microwave reactor in fixed space distribution of plasma, and distribution of plasma in fixed space distribution of electromagnetic field space distribution. Spatial position parameters of electromagnetic field steady distribution and plasma discharge position were obtained.
Keywords:microwave reactor  electromagnetic field  plasma  
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