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| 开发机械制造的新领域——纳米加工技术梗概 | |
| 引用本文： | 吴拓.开发机械制造的新领域——纳米加工技术梗概[J].西江大学学报,2000(2):40-45. |
| 作者姓名： | 吴拓 |
| 作者单位： | 西江大学物理系，广东肇庆526061 |
| 摘 要： | 纳米技术是当代科技发展的一个新兴领域。本简介了与机械制造有关的纳米加工技术，讨论了纳米加工技术的物理实质，介绍了与之相关的关键技术及其元器件等。 |
| 关 键 词： | 纳米加工技术 纳米技术 机械制造 加工精度 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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