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| 变刚度微纳测头的结构设计与性能分析 | |
| 引用本文： | 刘向阳,吴耀东,刘坤.变刚度微纳测头的结构设计与性能分析[J].内江科技,2018(8). |
| 作者姓名： | 刘向阳 吴耀东 刘坤 |
| 作者单位： | 安徽理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 正随着微电子机械系统技术的发展,微纳米测量装置已广泛用于机械工程、光~(1])学工程等领域。由于工件尺寸较小,为避免测量时对工件的破坏,要求测头支撑机构具有较低的刚度,但当测头离开工件表面时又要求测头支撑机构具有较高的~(2])刚度,因此研究变刚度微纳测头具有重要的意义。 |
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