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浅析磁控溅射陶瓷薄膜SiOX阻隔性机理

摘要：	现代社会对塑料包装性能要求越来越高,不仅要具有基本性能,同时还应该满足环保要求。目前高阻隔性材料备受欢迎,可以重复使用,而且此种包装材料对人身体不会造成伤害。现如今,世界各国都在研发具有高阻隔性的节能、环保的材料。主要通过实验对磁控溅射陶瓷薄膜Si OX阻隔性机理进行了分析,希望为此种高阻隔材料的应用提供帮助。
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