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| 低温等离子体的产生及应用 | |
| 引用本文： | 杨孝龙,王振杰,黄运添.低温等离子体的产生及应用[J].渭南师范学院学报,1996(Z2). |
| 作者姓名： | 杨孝龙 王振杰 黄运添 |
| 摘 要： | 本文介绍了低温等离子体的产生方法、产生机理以及低温等离子体在微电子工业、新型材料、加工技术和高分子材料改性等领域的最新应用。 |
| 关 键 词： | 低温等离子体 高频放电 微波放电 表面改性 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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