| 原子尺度的亚稳态金刚石膜的生长、形核和异质外延的机理研究 |
| |
| 引用本文： | 林彰达,冯克安.原子尺度的亚稳态金刚石膜的生长、形核和异质外延的机理研究[J].中国科学院院刊,1998,13(3):201-203. |
| |
| 作者姓名： | 林彰达 冯克安 |
| |
| 作者单位： | 物理研究所表面物理国家重点实验室,北京,100080 |
| |
| 摘 要： | 金刚石由于它在力学、热学、光学及电子学方面极其优异的性能和最近它在低压合成方面的成功，近年来它的研究和开发吸引了很多人，形成了一股热潮。但是也遇到了困难，其中最突出的是，对金刚石膜的生长和形核机理还不很清楚，使得人们不能很好地控制膜的生长和质量，来满足实际应用中的各种要求。其次，大面积的异质外延金刚石单晶膜还未能获得，不能实现金刚石膜在高温、高速、高功率和高集成度电子器件上的应用。碳的平衡相图告诉我们，在低温低压生长条件下石墨是稳定相；而只有在高温高压生长条件下，金刚石才是稳定相。所以在低压下用…
|
| 关 键 词： | 金刚石 机理研究 |
| 修稿时间： | 1997年9月24日 |
A mechanism research on the growth, grannular core & hetero-epitaxy of metastability diamond film on the atomic scale |
| |
| Lin Zhangda,Feng Kean.A mechanism research on the growth, grannular core & hetero-epitaxy of metastability diamond film on the atomic scale[J].Bulletin of the Chinese Academy of Sciences,1998,13(3):201-203. |
| |
| Authors: | Lin Zhangda Feng Kean |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《中国科学院院刊》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《中国科学院院刊》下载免费的PDF全文 |
