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椭偏法测量薄膜参数时消光位置的确定

摘要：	通过对椭偏法测量薄膜参数的理论和实验分析,对如何快速地确定消光位置进行了研究,得出在测量椭偏参数时有两组独立的特定值,并且两组消光位置的起偏器方位角相差90°。据此,总结出快速、准确找出消光位置的方法。利用该方法对五个不同薄膜样品的厚度和折射率进行了测量,得到的结果与理论分析有很好的一致性。
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