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| 等离子体过程诊断与应用 | |
| 引用本文： | 管潇津.等离子体过程诊断与应用[J].保定学院学报,2004,17(2). |
| 作者姓名： | 管潇津 |
| 摘 要： | 等离子体作为物质第四态,在宇宙中普遍存在 .等离子体对表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境,与之相关的等离子体状态诊断研究也显得非常重要 . |
| 关 键 词： | 等离子体 过程诊断 电子温度 电子密度 |
Diagnosis and Application of Plasma |
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