|
|||||
|
|
| Cu夹层厚度对ZnO薄膜的光电性能的影响 | |
| 引用本文： | 陈薇薇,刘志学,张冰,赵立萍.Cu夹层厚度对ZnO薄膜的光电性能的影响[J].黑龙江科技信息,2012(6):92. |
| 作者姓名： | 陈薇薇 刘志学 张冰 赵立萍 |
| 作者单位： | 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室．黑龙江牡丹江157012 |
| 基金项目： | 牡丹江师范学院研究生学术科技创新项目，牡丹江师范学院教改工程项目，牡丹江师范学院科研项目 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射技术在玻璃基底上制备出了具有c轴择优取向的Cu夹层ZnO透明导电薄膜,利用几种表征手段分析了夹层厚度对ZnO薄膜的结构形貌、光电性能的影响。结果表明,随着夹层厚度的增加,薄膜的结晶性降低,透光率降低、电学性能增强。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 ZnO 夹层厚度 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |