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| 刻蚀工艺参数对单晶硅太阳能电池性能影响 | |
| 引用本文： | 周平,周林,安文俊.刻蚀工艺参数对单晶硅太阳能电池性能影响[J].西安文理学院学报,2023(2):44-47. |
| 作者姓名： | 周平 周林 安文俊 |
| 作者单位： | 江西工程学院智能制造与能源工程学院 |
| 基金项目： | 江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ202909)； |
| 摘 要： | 以单晶硅太阳能电池刻蚀为研究对象，研究应用电子显微镜观察、电性能分析等方法，揭示不同刻蚀工艺参数下单晶硅片塔基的微观形态及电性能.结果表明：通过应用优质刻蚀添加剂，可使硅片塔基形状改善，电性能参数提高；添加剂初期时生产的电池片填充因子提高1.029 9;高减重单晶硅太阳能电池片反射率相对较低. |
| 关 键 词： | 刻蚀 单晶硅 工艺参数 添加剂 太阳能电池 |