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| 关于半导体器件中PN结的染色 | |
| 引用本文： | 郝慧琴.关于半导体器件中PN结的染色[J].黑龙江科技信息,2015(22). |
| 作者姓名： | 郝慧琴 |
| 作者单位： | 西安卫光科技有限公司,陕西 西安,710000 |
| 摘 要： | 在结型半导体器件中,PN结的质量对器件特性影响很大。结深是检测PN结的重要参数之一。使用滚槽法,并用化学染色液显示PN结位置,是一种简单方便的方法。不同的染色液显现PN结形貌受到PN结固有性质、染色溶液的成分、染色时间等的影响。综合来看,铬酸染色液在实际中的应用效果较好。 |
| 关 键 词： | PN结 滚槽法 染色液 |
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