| 大视场激光扫描系统 |
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| 引用本文： | 单宝忠,郭宝平,王淑岩,牛憨笨.大视场激光扫描系统[J].深圳特区科技,2005(11):2-7. |
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| 作者姓名： | 单宝忠 郭宝平 王淑岩 牛憨笨 |
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| 作者单位： | 深圳大学光电子学研究所,深圳518060 |
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| 摘 要： | 本文设计了大视场二维激光扫描系统。扫描系统以多面体转镜作为扫描器，F-θ透镜作聚焦系统。F-θ透镜不同于普通的光学透镜，通常用于激光扫描系统，将激光束聚焦，利用其线性扫描特性实现线性扫描，系统的扫描特性主要决定于F-θ透镜的聚焦特性。所设计的F-θ透镜系统实现了X方向356mm视场的扫描，分辨率达到35微米，y方向通过滚珠丝杠实现无限长度扫描。用CODEV进行了光学系统性能评价，系统的聚焦特性在整视场达到了衍射极限并满足系统要求。在现有的实验条件下，对光学聚焦系统进行了检测，在不同视场下的聚焦光斑直径都约为30μm，与光学系统理论设计参数基本吻合，而且符合F-θ特性，达到了预期性能。
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| 关 键 词： | 光学设计 激光扫描 F-theta透镜 二维大视场 |
Laser Scanning System of Large Field |
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| Authors: | ShanBaozhong GuoBaoping WangShuyan NiuHanben |
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