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| 电子级硫酸的生产工艺及发展现状 | |
| 引用本文： | 龚灼飞.电子级硫酸的生产工艺及发展现状[J].中国科技信息,2024(7):70-72. |
| 作者姓名： | 龚灼飞 |
| 作者单位： | 厦门鹭汇化工科技有限公司 |
| 摘 要： | <正>电子级硫酸，作为半导体制造过程中不可或缺的材料，其生产工艺的优化直接关系到硅晶片清洗和蚀刻效率的提高。随技术进步，集成电路线宽细化，也对硫酸纯度的要求相应提升。可以说，电子级硫酸的生产进展不仅影响半导体行业的发展速度，也是推动信息技术产业向更高精度发展的基础。因此，本文围绕电子级硫酸的制备技术、纯化方法及质量控制机制，系统论述其生产过程的关键环节。同时，通过对国内外生产现状的比较，识别我国在该领域的发展潜力和未来趋势。以期本次研究成果，为我国电子级硫酸产业发展给予理论支持，对于提升我国半导体材料生产水平、促进电子信息产业的整体竞争力具有重要意义。 |