| 高校微机电系统加工实验室的管理与运行 |
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| 引用本文： | 王胜强,李冬玲,尚正国,贺学锋.高校微机电系统加工实验室的管理与运行[J].实验技术与管理,2010,27(11). |
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| 作者姓名： | 王胜强 李冬玲 尚正国 贺学锋 |
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| 摘 要： | 微加工超净实验室是微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)研究的基础条件.超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要.结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 超净间 管理 |
Running and management of MEMS fabrication laboratory in colleges and universities |
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| Wang Shengqiang,Li Dongling,Shang Zhengguo,He Xuefeng.Running and management of MEMS fabrication laboratory in colleges and universities[J].Experimental Technology and Management,2010,27(11). |
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| Authors: | Wang Shengqiang Li Dongling Shang Zhengguo He Xuefeng |
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