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| 工艺及工艺参数对器件电路ESD的影响 | |
| 引用本文： | 文毅,胡云峰.工艺及工艺参数对器件电路ESD的影响[J].科教文汇,2010(5). |
| 作者姓名： | 文毅 胡云峰 |
| 作者单位： | 电子科技大学中山学院电子工程系; |
| 摘 要： | ESD已成为集成电路中主要的可靠性问题。本文分析目前常用工艺及一些工艺参数对ESD的影响。 |
| 关 键 词： | ESD 集成电路 工艺 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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