| 玻璃基片上钽薄膜屈曲结构的边界效应研究 |
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| 引用本文： | 陈小军,余森江,焦志伟,陈苗根.玻璃基片上钽薄膜屈曲结构的边界效应研究[J].台州学院学报,2012,34(6). |
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| 作者姓名： | 陈小军 余森江 焦志伟 陈苗根 |
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| 作者单位： | 中国计量学院 物理系,浙江杭州,310018 |
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| 基金项目： | 浙江省大学生科技创新项目，国家自然科学基金，浙江省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 利用直流磁控溅射方法在玻璃基片上沉积了金属钽薄膜,研究了边界效应对薄膜屈曲结构的影响.结果表明:制备态的钽薄膜包含较大的残余压应力,促使薄膜与基片脱层而形成屈曲结构；屈曲结构在薄膜边界处成核生长,并逐渐扩展到薄膜内部区域；在薄膜边界处,屈曲结构呈垂直边界的平行直线状条纹结构,随着距离的增加,屈曲结构逐渐分叉形成无规网格结构或电话线结构.利用薄膜的单轴应力和等双轴应力模型,对屈曲结构边界处的形貌特征进行了深入分析.
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| 关 键 词： | 钽薄膜 屈曲 内应力 边界效应 |
Edge Effect of Buckling Patterns in Ta films Deposited on Glass Substrates |
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| CHEN Xiao-Jun
,
YU Sen-Jiang
,
JIAO Zhi-Wei
,
CHEN Miao-Gen.Edge Effect of Buckling Patterns in Ta films Deposited on Glass Substrates[J].Journal of Taizhou University,2012,34(6). |
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| Authors: | CHEN Xiao-Jun YU Sen-Jiang JIAO Zhi-Wei CHEN Miao-Gen |
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