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| CA-LBM数值模型的应用研究 | |
| 引用本文： | 张迎新,黄会明,曹峰源,李学琳,陈洪建.CA-LBM数值模型的应用研究[J].科技通报,2023(3):8-14. |
| 作者姓名： | 张迎新 黄会明 曹峰源 李学琳 陈洪建 |
| 作者单位： | 1. 天津市交通科学研究院;2. 河北工业大学 |
| 摘 要： | 本文通过建立CA-LBM(格子玻尔兹曼-元胞自动机)耦合数值模型，模拟了多晶硅定向凝固过程中FET(小平面柱状晶-等轴晶转化)微观组织演变过程。结果表明：在碳杂质浓度达到临界值后，小平面界面前沿通过在SiC上形核实现向等轴晶生长转化；凝固过程中碳杂质浓度的高低决定等轴晶形态，高的碳杂质浓度等轴晶形态为热等轴枝晶，低的碳杂质浓度等轴晶的形态为等轴晶粒；多晶硅最终微观组织结构受形核密度和形核过冷度控制。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 数值模拟 小平面 格子玻尔兹曼 元胞自动机 |