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| 真空紫外光技术制备致密非晶态ZnO薄膜 | |
| 引用本文： | 董卓,康嘉懿,王家铎,谢小英,张敬波.真空紫外光技术制备致密非晶态ZnO薄膜[J].唐山师范学院学报,2023(3):5-9. |
| 作者姓名： | 董卓 康嘉懿 王家铎 谢小英 张敬波 |
| 作者单位： | 天津师范大学化学学院天津市功能分子结构与性能重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(21975138)； |
| 摘 要： | 以六水合硝酸锌为原料，乙酰丙酮为配体剂，无水乙醇为溶剂，氨水为添加剂，制备了乙酰丙酮锌络合物前驱体溶液。以掺氟氧化锡导电玻璃为基底，将前驱体溶液旋涂到基底，在干燥的氮气气氛中，经波长为172 nm的真空紫外光照射5分钟后，可以对前驱体薄膜中的金属有机前躯体进行光化学分解，形成氧化锌薄膜。采用紫外吸收光谱、傅里叶变换红外光谱、X射线光电子能谱、X射线衍射、以及扫描电镜对薄膜进行表征和分析。结果表明，有机配体在真空紫外光光照5分钟内迅速分解和缩聚，生成无针孔、高致密的ZnO薄膜。 |
| 关 键 词： | 真空紫外光 氧化锌 光化学 致密薄膜 |