| 原位椭圆偏振测量参数解析技术 |
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| 引用本文： | 李文坡,左秀丽,张胜涛,郑嘉,吕堂满.原位椭圆偏振测量参数解析技术[J].实验室研究与探索,2014(8):10-13. |
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| 作者姓名： | 李文坡 左秀丽 张胜涛 郑嘉 吕堂满 |
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| 作者单位： | 重庆大学化学化工学院;中国人民解放军后勤工程学院军事油料应用与管理工程系; |
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| 基金项目： | 国家自然科学青年基金项目(No.21003163);中央高校基本科研业务费(No.CQDXWL-2013-025)资助 |
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| 摘 要： | 采用原位椭圆偏振法测量Mn在Au电极上阴极恒电流沉积过程,分别建立单层膜模型和有效介质膜模型对椭圆偏振测量参数进行拟合。解析结果发现,均方差值(MSE)不是唯一判断的依据,结合扫描电镜结果得到单层膜模型更适合模拟Mn恒电流沉积的动态过程,由单层膜模型可推测Mn的沉积过程为逐层沉积。由于Mn的消光影响,椭圆偏振技术只适合沉积初始阶段的原位测量。
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| 关 键 词： | 椭圆偏振 解析技术 光学模型 锰 电沉积 |
Analysis of the In-situ Ellipsometry Parameter |
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