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| 液晶基板研磨机工作台气路系统优化改造 | |
| 引用本文： | 任晓金.液晶基板研磨机工作台气路系统优化改造[J].中国科技信息,2013(17):105. |
| 作者姓名： | 任晓金 |
| 作者单位： | 郑州旭飞光电科技有限公司 |
| 摘 要： | 分析了液晶玻璃基板研磨机工作台的气路系统工作原理及存在的不足,通过在该气路系统上加设储气罐、电磁阀、真空压力表等,同时控制电磁阀动作时序,彻底解决了困扰生产的真空气路积水问题,提高了设备运行的安全性和可靠性。 |
| 关 键 词： | 玻璃基板 研磨机工作台 气路系统 |
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